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一种长延时大带宽声表面波延迟线的制作方法(2)

发布时间:2021-03-18   来源:网络整理    
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下面将参考附图并结合推行例来具体说明本实用新型。

如图1-3所示,一种长延时大码率声表面波推迟线,包括芯片轮缘1、压电基片、换能器跟吸声胶,所述换能器包括键入换能器跟输出换能器大带宽,所述压电基片选用氮化物构成,所述换能器包括双IDT结构叉指条3跟引线负极2,芯片轮缘1为两个,一个坐落键入换能器的引线负极2之间,另一个坐落输出换能器的引线负极2之间大带宽,所述芯片轮缘1的表面上抹有吸声胶,所述引线负极2选用铝电极或金电极中的一种,输入换能器跟输出换能器均为半圆结构,所述半圆结构中不同速率的内径不同,其周期沿外径方向递增或递减。

上述换能器为叉指结构,相邻两指条之间的距离相等,所述半圆结构选用周期渐变的半圆结构。

上述引线负极2的长度为0.1um-0.4um。

上述引线负极(2)采用铝电极。

本实用新型选用氮化物材料作为压电基片,具有良好的气温稳定性,同时本实用新型的键入换能器、输出换能器均选用半圆结构,其周期沿外径方向递增或递减,周期长的部份对应延迟线通带的高频频段,周期短的部份对应延迟线通带的低频频段,可以获得较宽的码率跟较低的耗损。本实用新型在普通的声表面波推迟线结构的基础上,采用半圆结构,获得了较宽的码率;同时通过改变半圆结构换能器中不同速率的内径实现通带补偿技术,对不同速率的传播耗损进行补偿,进而得到平坦的通带,可以在保证通带平坦度的状况下,得到长延时、大码率的声表推迟线,在中心速率600MHz,带宽200MHz的条件下,实现300ns、700ns等多个推迟时间,最长的达到了10us,同时有着较差的通带平坦度。

以上所述仅为本实用新型的较佳推行例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神跟原则之内,所作的任何更改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

图说天下

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